• 产品概述
  • 磁控溅射电源

    多功能镀膜电源集成了离子加速与薄膜原料加热双重功能,适用于集团离子束镀膜与多弧离子镀膜,还可以用于直流溅射镀膜、直流偏压溅射镀膜等镀膜设备。

    多功能镀膜电源的基本参数:

    引弧电流0~10A

    加热电流0~120A

    工作电压0~1200V

    输出功率0~120kW

    多功能镀膜电源在诺亚电器公司研发出了更多产品特性,我们优略于同行的产品,多功能镀膜电源有以下的优点:

    1.避免了常规镀膜电源过流、过压断电保护,

    2.避免了被动灭弧同时灭辉,

    3.避免了手动设置工序工艺等离散的操控工作,

    4.可自动跟踪炉体内的等离子电离深度,自动平滑地调整输出电流电压

    5.可编程功能强大、控制灵活、工作稳定,质量可靠、性价比可观,是离子镀镀膜设备更好的选择。

    重点技术特点:即使在运行过程中瞬间短路,短路电流依然能够持续稳定输出,保证镀膜效果。

     


    偏压磁控溅射电源

    直流磁控溅射电源

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